日本CKD半導體電動執行器滑臺型FLCR

產品簡介

日本CKD半導體電動執行器滑臺型FLCR
采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動，支持 16 級速度調節（5~300mm/s）和 10 級位置細分，可滿足半導體晶圓微米級定位需求（如檢測設備中傳感器的精密移動）。
搭配 ECR 控制器時，支持實時扭矩監控，可通過 IO-Link 遠程調整參數，避免過載損傷工件。

Name: 日本CKD半導體電動執行器滑臺型FLCRFLCR-16
Brand: CKD/日本喜開理
Price: 108 CNY
Availability: InStock

產品型號：FLCR-16

更新時間：2026-05-08

廠商性質：經銷商

訪問量：1394

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日本CKD半導體電動執行器滑臺型FLCR

一、型號組成與配置規則

FLCR 系列采用模塊化編碼體系，通過后綴區分規格、功能及適配場景，典型型號結構如下：

FLCR - [尺寸] - [行程] - [控制方式] - [附加功能]

尺寸規格：以數字表示滑臺基座寬度（mm），常見有 16、20、25 三種，對應不同負載能力和安裝空間需求：

16mm：適配小型工件（如半導體晶圓片、微型電子元件）；
25mm：支持較大負載（如汽車零部件、精密機械組件）。

行程范圍：以兩位數字表示單側行程（mm），總行程為 “2× 單側行程"，常見選項：

02：單側 1mm，總行程 2mm；
10：單側 5mm，總行程 10mm；
50：單側 25mm，總行程 50mm（最大行程可達 100mm）。

控制方式：區分配套的控制器類型，決定信號交互與調控能力：

G：搭配 ECG 控制器（24V 電源，支持脈沖 / 模擬量控制），適合單機點位控制；
無符號：搭配 ECR 控制器（24V/48V 電源，支持 IO-Link、Modbus 等總線通信），可集成至工廠自動化系統。

附加功能：通過字母組合標注特殊配置：

N：無制動功能（默認帶斷電保持制動）；
C：內置增量式編碼器（支持位置反饋，重復定位精度 ±0.02mm）；
RS10：電纜右出，長度 10m（適配復雜布線環境）。

示例型號解析：

FLCR-2002050NCN-RS10：20mm 基座，單側行程 25mm（總 50mm），ECR 控制，帶編碼器，電纜右出 10m，IP40 防護。

二、核心技術特點

電動驅動精準可控：

采用滾珠絲杠 + 皮帶傳動，支持 16 級速度調節（5~300mm/s）和 10 級位置細分，可滿足半導體晶圓微米級定位需求（如檢測設備中傳感器的精密移動）。
搭配 ECR 控制器時，支持實時扭矩監控，可通過 IO-Link 遠程調整參數，避免過載損傷工件。

與氣動滑臺兼容：

安裝尺寸與 CKD 氣動滑臺 LCR 系列一致，可直接替換氣動設備，無需改造生產線，降低升級成本。
電動驅動消除了氣動系統的壓力波動問題，適用于對穩定性要求高的半導體封裝工序（如芯片貼裝）。

高剛性與緊湊設計：

一體化鋁合金基座結合雙導軌結構，最大可承受 127.5N?m 的傾覆力矩，確保高速運行時的穩定性（如晶圓搬運設備的快速取放）。
內置電機設計節省 30% 安裝空間，適合緊湊的潔凈室工作臺布局。

環境適應性優化：

基礎款防護等級 IP40，可選配橡膠防塵蓋提升至 IP50，適配半導體車間的低塵環境。
運行噪音≤65dB，符合潔凈室對噪聲的嚴格要求。

三、核心參數（以 FLCR-20 為例）

參數類別	典型值	說明
運動性能	定位精度：±20μm	帶編碼器款（C 后綴）精度可達 ±0.02mm
	最快速度：300mm/s	支持梯形加減速曲線，減少沖擊
負載能力	水平負載：11kg	垂直負載：3kg（帶制動時可保持位置）
電氣特性	電源：24V/48V DC	功耗≤50W，支持寬電壓輸入
環境參數	工作溫度：0~40℃	濕度：35%~80% RH（無冷凝）
物理規格	重量：約 580g	輕量化設計，適配機器人手臂末端執行器

四、半導體行業典型應用

晶圓檢測與量測：

場景：在半導體晶圓外觀檢測設備中，FLCR 滑臺帶動光學鏡頭沿 X-Y 軸掃描，定位精度需達到 ±0.02mm，以識別微米級缺陷。
配置：選用 FLCR-16GH102C-RS03（16mm 基座，單側行程 1mm，帶編碼器，電纜 3m 右出），通過 ECR 控制器與視覺系統聯動，實現動態路徑規劃。

芯片封裝與貼裝：

場景：在倒裝芯片（Flip-Chip）封裝過程中，FLCR 滑臺需精準控制焊球放置位置，避免偏移導致短路。
優勢：電動驅動的恒速特性（5~15mm/s）確保焊球垂直下落，搭配 ECG 控制器的模擬量輸入，可微調壓力防止芯片損傷。

晶圓搬運與傳輸：

場景：在半導體潔凈室中，FLCR 滑臺作為晶圓傳輸線的一部分，需在多工位間快速移送晶圓（如從清洗槽到烘干區）。
配置：選用 FLCR-2502050NCN-LS10（25mm 基座，單側行程 25mm，電纜左出 10m），支持與天車系統的 EtherCAT 總線通信，實現全自動化流程。

五、選型關鍵提示

按負載選尺寸：

水平負載≤5kg 選 FLCR-16，5~10kg 選 FLCR-20，10kg 以上選 FLCR-25。

按精度選反饋：

檢測設備需帶編碼器（C 后綴），普通搬運可選用無編碼器款。

按系統選控制：

單機使用選 ECG 控制器（G 后綴），生產線集中控制選 ECR 總線款（無后綴）。

按環境選防護：

潔凈室環境建議選配防塵蓋（G/F 后綴），避免粉塵侵入影響壽命。

FLCR 系列通過電動化的精準控制與氣動兼容性，成為半導體制造從 “傳統產線" 向 “智能工廠" 升級的關鍵設備，尤其在晶圓加工、封裝測試等環節發揮核心作用。

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一、型號組成與配置規則

二、核心技術特點

三、核心參數（以 FLCR-20 為例）

四、半導體行業典型應用

五、選型關鍵提示

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